一、行(háng)業簡介
半導(dǎo)體、集成電路芯(xīn)片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電(diàn)器件、各種電子器件、微電子工(gōng)業、大規模、超大(dà)規模集成電(diàn)路需用(yòng)大量的純水(shuǐ)、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的(de)集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高(gāo)。目前我(wǒ)國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等(děng)級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
二(èr)、應用範圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗(yàn)室(shì)、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥(yào)、石油、化工、鋼(gāng)鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝(yì)用水、化學藥劑、化妝品(pǐn)等用純(chún)水。
3、單晶矽、半導體晶片(piàn)切割製造、半導體芯片(piàn)、半導體封裝(zhuāng) 、引線櫃架、集成電(diàn)路、液晶顯示器、導電玻璃(lí)、顯像管、線路板、光通信、電(diàn)腦元件、電容器潔淨產品及各(gè)種元(yuán)器件等生產工藝用純水(shuǐ)。
三、工藝簡介(jiè)
1、係統模塊化設計,共(gòng)分(fèn)四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端供水係統。
2、預處理係統主要用來去除原水中的懸浮物、濁(zhuó)度、色度、膠體以及部分(fèn)有機(jī)物,保(bǎo)證產水符合反滲透(tòu)係統的進水水質要求。
3、反滲透係統主要用來去除原(yuán)水中溶解性鹽類物質、細(xì)菌、熱源等,保證(zhèng)產水符合EDI係統(tǒng)進水水質要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進行進一步脫除溶解性的小分(fèn)子(zǐ)鹽類物質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是用來將合格水輸送至用水(shuǐ)點,輸送(sòng)過程中對EDI產生進行最後的離子交換脫鹽,使得產水達到電阻率達到(dào)18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集中控製。
四、技術特色
1、係(xì)統模塊化設計,占地麵積小,操作(zuò)維護方便,安裝方便快捷,整體美觀。
2、整套係統實現全(quán)自(zì)動化運行,並且手動與自動自由切(qiē)換。
3、設備產水水質穩定,運行連續穩定(dìng)。
4、係統工藝(yì)先(xiān)進,無需化學藥品再生,無危害性廢液排(pái)放。
5、係統節水率高,係統回收率在75%以上(shàng)。
6、關鍵部位采用在線儀(yí)表監測,適時(shí)數據上傳。
五、設備(bèi)參數
1、係統回收率:
超濾(lǜ)≥90%
一(yī)級反滲透≥75%
二級反滲透(tòu)≥85%
EDI係統(tǒng)≥90%
2、設備產水符(fú)合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半(bàn)導體工業純水(shuǐ)指標。
3、單支膜(mó)脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。